【管野静香重口味】尼康 2027 年 1 月发售对准站 Litho Booster 1000，优化套刻精度 其通过优化测量完善光源性能

汽车电瓶 · 2026-08-12 02:57:22

Litho Booster 1000 通过重新优化晶圆卡盘 
，尼康年月

尼康表示，发售还能搬送翘曲程度更大的对准度管野静香重口味晶圆
。相比现有机型的化套对准测量精度优化约 35%；其通过优化测量完善光源性能，

对准站是刻精可并置于光刻机旁的测量设备。芯片结构的尼康年月 3D 化正从 CIS（CMOS 图像传感器）扩展至逻辑和存储器件，该企业将于 2027 年 1 月底发售半导体制造设备新品锐布 Litho Booster 1000 对准站。发售从而适应多种工艺条件；而通过晶圆搬运机器人运输速度的对准度优化，其可在不缩减产能的化套管野静香重口味前提下对晶圆形变与偏移进行高精度测量，Nikon（尼康）7 月 30 日宣布，刻精业界在曝光及晶圆对晶圆键合的尼康年月工序中对晶圆形变与偏移的精细掌握需求正在持续优化
。

IT之家 8 月 3 日消息，对准度该设备吞吐量较现有机型优化约 10%，化套这一设备与现有机型相比实现了约 35% 的刻精测量精度优化和 10% 的晶圆吞吐量优化
。显著缩减了晶圆吸附过程中的误差，并将获得的校正值前馈至光刻机，从而有助于实现高套刻精度
。使对准标记和套刻标记更易检测，